虚拟（VR）实训系统包括半导体芯片制造的所有工艺制程的主流设备的实训，包括氧化工艺、光刻工艺、刻蚀工艺、薄膜沉积工艺、掺杂工艺和金属化工艺等。本课件只是部分功能展示，详细介绍请见：实训室建设方案。同时，我们也开发了：仿真实训版本。

     我们的实训体系共包含三种模式：教学模式、训练模式和考核模式：

• 教学模式为教师日常上课教学所用模式，供学生在学习初期了解、学习工艺制程。

• 训练模式可用作学生对工艺制程有了一定了解后，自我提升、自我考核使用，可以当作正式考核前的模拟考试。

• 考核模式可用作检验该阶段学生的学习情况，能够验证和记录学生该阶段的学习成果。

虚拟仿真实训优势：

• 显著降低实验环境建设成本：半导体晶圆加工需要在洁净室环境进行，洁净室除了“洁净”之外，而必须是一个对冷热、噪声、照度、静电、微振都有相当要求的多功能的综合体，费用昂贵。

• 显著降低设备采购成本：半导体加工设备昂贵，同时需要空压、特气、氮气、纯水等相关配套设施，建设费用（几千万-几十亿），维护费（几百万-几亿）。

• 显著降低设备维护成本：半导体实验室运行维护需要专门的厂务、设备维护、工艺等相关工程师（几十人至上千人），人力成本巨大。

• 显著提高实操培训效率：利用沉浸式交互和指导，VR/AR教育可以帮助学员迅速上手，从而缩短培训时间并降低错误风险。相关机构的研究结果表明，如文字或图片，教学效率约为10%；复合媒体教学形式的效率，如多媒体教学，约为30%；高沉浸的媒体， 虚拟仿真教学的效率则达到70%。可见虚拟仿真可以大幅提高教学效率与学习效率。

• 免实验操作的安全风险：在体验式教育教学过程中，会有很多有危险性的体验与操作，比如化学教学中有很多实验涉及具有腐蚀性、有毒、易爆炸的液体或固体，用虚拟仿真的方式进行实验则可以避免实验中的安全风险。

• 解决效率低、乏味、抽象等痛点，提高学习兴趣与动力：虚拟仿真的沉浸感、临场感和趣味性，可以将枯燥乏味的知识以生动有趣的方式呈现，大大提高学生学习的积极性，激发学生的探索潜能。

    如您有任何问题，请联系我们：

                     18551173673（赵老师）